Дипломная работа на тему: "Обеспечение безопасности в чистых производственных помещениях (ЧПП)"
Уникальность: 79%
Год защиты: 2015
Дополнительно: К ВКР прилагается бесплатный доклад (защитная речь), презентация, рецензия, отзыв. Доработка дипломной (при необходимости) - бесплатно!
Содержание:
Введение
1. Современные проблемы чистых помещений
1.1. Общие сведения о ЧПП
1.2. Особенности систем кондиционирования и фильтрации воздуха в ЧПП
1.3 Основные процессы микроэлектроники(МЭ), осуществляемые в ЧПП
2. Химические факторы производственной среды в ЧПП
2.1. Нормирование содержания вредных веществ в воздухе
2.2. Выделение вредных веществ на операции фотолитографии
2.3. Выделение вредных веществ на операциихимических воздействий на человека
2.4.Особенности воздействия малых химических доз на организм человека
2.5.Методы контроля исостояния воздуха в производственных помещениях
3. Фильтры для очисткивоздуха от вредных примесей
3.1. Классификацияфильтров по очистки химически вредных веществ
3.2. Преимущества и возможности применения фильтров в ЧПП
3.3.Вертикальноионитноугольный фильтр ВУФ
3.4. Расчет вертикально ионитноугольного фильтра ВУФ
Заключение
Список использованной литературы
